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Q&A Question and Answer
口高密着な膜を形成
イオン注入によるミキシング層(混合層）形成効果で強固な膜の密着強度が得られます。
口低音プロセス
イオンの加速エネルギーにより低音成膜を可能にしました。
PDF:室温で何故高い密着強度が得られるもの
口原理
表面処理をしたい部品(基材）に高周波電圧をかけてプラズマを発生させます。次に負の高電圧パルスを印加し、電圧を制御することで、基材の周囲にあるイオンを注入し密着性を向上させます。
低電圧パルスでカーボンイオンを堆積しDLCを成膜します。
口特徴
基材の形状に沿った、均一なプラズマ形成
基材に直接高周波を印加するため、基材がアンテナとなり、基材の形状に沿った、均一なプラズマが生成されます。
口絶縁シート/フィルムへのDLCコーティング
平板電極に絶縁シート/フィルムを密着させ、電極に負パルス電圧を印加することによりDLCコーティングされます。絶縁材料にイオンが注入・成膜することにより正の電荷が帯電しますが、パルス電圧がゼロの時、電極周辺にあるプラズマが電極に接近してきて、正の電荷はプラズマ中に拡散してゼロになり、再びパルス電圧が印加された時DLCが繰り返し成膜されます。
口簡単な絶縁立体形状物へのDLCコーティング
絶縁立体形状物に正パルス電圧を印加すると、マイナス電荷を持った電子が絶縁材料に付着します。あたかも絶縁材料は電子が付着して金属材料の様相を示します。次の瞬間負パルスを印加すると、金属様相をした絶縁立体系にイオンが注入・成膜され、DLCがコーティングされます。
口ゴム分野:耐摩耗性、摺動性、ガスバリア性、耐固着性、無潤滑
＞ゴムロール、ゴムＯリング、ゴムパッキング、ゴムシート
口樹脂分野:耐摩耗性、摺動性
＞シリコンキャリア、バイオMEMS、タッチパネル
口非鉄金属分野(アルミ、ニッケル、チタン等）:摺動性、潤滑性、耐摩耗性、耐食性、ガスバリア性、耐固着性
＞エンジン部材、補機部品、複雑形状部材
口鉄系分野:摺動性、潤滑性、耐摩耗性、耐食性、ガスバリア性、耐固着性、無潤滑
＞シリコンキャリア、研磨用ドレッサー、輸送・摺動部材、搬送ロボット
口マイクロ部材分野:耐磨耗、離形性
＞マイクロ金型
口導光板・光分野:高輝度、面光源
＞導光板、面照明
基材により密着強度は異なります
ゴム、樹脂の場合ピール試験でDLCの剥離をチェックします。180度の曲げ試験での剥離試験でのチェックを行います。
口金属、非鉄金属の場合・・・スクラッチ試験での密着強度を測定します。
口アルミの場合・・・15N以上
口ステンレスの場合・・・20N以上
口SKDの場合・・・20～40N
口超硬（WC）の場合・・・30～60N
